新品便攜式電阻率用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴散
便攜式電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的際及家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定*。
它主要由電器測量份（主機）及四探針頭組成，需要時可加配測試架。
為減小體積，本儀器用同塊數(shù)字表測量電流及電阻率。樣品測試電流由精度的恒流源提供，隨時可行校準(zhǔn)，以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量誤差不過±3%，在此范圍內(nèi)達到家標(biāo)準(zhǔn).
（1）測量范圍：
可測方塊電阻： 0.1～1999Ω/口
當(dāng)被測材料電阻率≥200Ω·cm數(shù)字表顯示0.00。
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔
1mA量程：0.1～1mA 連續(xù)可調(diào)
10mA量程：1mA ～10mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%
（1） 直流數(shù)字電壓表
測量范圍：0～199.9mv
靈敏度：100μv
準(zhǔn)確度：0.2%（±2個字）
（2） 供電電源：
AC：220V ±10% 50/60HZ 率8W
（3） 使用環(huán)境： 相對濕度≤80%
（4） 重量、體積
重量：2.2 公斤
體積：寬210×100×深240（mm）